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3D测量激光显微镜
发布日期:2015-06-12浏览次数:字号:[ ]
仪器名称 3D测量激光显微镜
仪器型号  LSM 700
制造厂商  德国卡尔蔡司公司
添置时间 2015-4-23
浏览次数  
联 系 人  李老师
联系方式  0514-87979383-121
主要技术指标:

  水平分辨率120nm,Z轴步进分辨率10nm,显示分辨率0.1nm; 光学最大放大倍数为4000x。

仪器功能及附件:

  观察方式:激光共聚焦、激光共聚焦微分干涉、白光明场和白光微分干涉、ADF高级暗场、偏光及荧光功能。

  附件:405nm固体激光器;荧光功能附件;蔡司高分辨率彩色数码冷摄像头

应用范围:

    材料学、半导体材料、石油地质及生物食品等物质的亚微结构观察和分析。可对材料表面进行体积测量,粗糙度测量,3D表面形貌;微米和亚微米级部件的尺寸测量,表面形貌观察;半导体芯片表面形貌观察,非接触型的线宽,台阶深度摩擦学磨痕的体积测量等测量研究。荧光功能测量可以检测材料的缺陷和性能。




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