主要技术指标：

             1. 极限能量分辨率为0.43eV;          2. 分析室真空度优于5×10^-10 mbar;

             3. 能量分析范围为0-5000eV;          4. 通过能范围为1-400eV。

仪器功能：

    （1）固体样品的表面成分分析、化学态分析，取样深度约为1-10nm；

　　（2）材料中元素的深度分析，角分辨方式，氩离子与氩团簇离子刻蚀方式；

　　（3）可进行样品的原位处理，如原位加热、冷却、断裂。

仪器附件：离子散射谱（ISS），反射电子能量损失谱（REELS），单色化XPS（Al靶），

         双阳极（Mg/Al靶），氩离子团簇离子枪，加热/冷却台，样品断裂台。

应用领域：

　　XPS是分析研究固体表面元素成份、元素分布、元素价态和化学态等表面化学特性方面的重要仪器，原则上能分析除H、He以外的所有元素，尤其适用于分析材料表面元素的化学价等，检测灵敏度0. 1%～1%原子浓度比。 

    XPS适于分析固体样品，形状不限，粉末样品也可以分析，但以表面光滑的片状为好，如纳米薄膜材料，催化剂，微电子材料，高分子材料，生物材料，金属材料，半导体材料，无机非金属材料等。原则上样品表面应维持欲分析状态。对表面污染的样品可采取适当措施，予以清洁，安装时应使样品与样品托有良好的电接触，具有放射性、挥发性的样品不宜分析。

送样须知：   

1. 材料必须是无放射性（不含放射性元素如U、Th、Ra等）、无毒性（不含毒性Hg等）、无挥发性物质(不含挥发性物质如F,Cl,Br,I,Sn等）；

2. 材料必须是干燥固体，粉末需完全干燥（最好研磨）；

3. 磁性样品，提前沟通测试；

4.易氧化或其他需要单独测试的样品，需要电话预约沟通测试时间；

5. 粉末测试需要量一般不小于20 毫克；固体样品尺寸不大于0.5×0.5×0.4cm；

6. 校内样品原则不提供数据分析处理（如需分析处理，另行约定），样品数量大于5个需现场自己制样；

7. 普通样品测试一般包括一个全谱和五个以内（含碳谱）的单元素谱；超过五个元素的按每个元素加收费用（预约系统中选择不同项目）；

8. 需要样品表面清洁的测试，清洁时间不超过20秒、清洁一次，按六个元素预约；

9. 需要刻蚀、深度剖析样品的测试，每一层按一个普通样品测试收费，另外加收刻蚀占用时间费用（刻蚀占用时间=总测试时间-测谱时间），刻蚀占用时间每15分钟按一个普通测试样品收费；

10. 需要特殊处理的样品，需要电话预约沟通测试时间。　

请需要测试的老师和同学送样前认真阅读送样须知，如未按要求送样，所造成的测试延迟或损失（比如真空污染、仪器损伤）均由送样人或其导师承担！