水平分辨率120nm，Z轴步进分辨率10nm，显示分辨率0.1nm； 光学最大放大倍数为4000x。

仪器功能及附件：

　　观察方式：激光共聚焦、激光共聚焦微分干涉、白光明场和白光微分干涉、ADF高级暗场、偏光及荧光功能。

　　附件：405nm固体激光器；荧光功能附件；蔡司高分辨率彩色数码冷摄像头

应用范围：

    材料学、半导体材料、石油地质及生物食品等物质的亚微结构观察和分析。可对材料表面进行体积测量，粗糙度测量，3D表面形貌；微米和亚微米级部件的尺寸测量，表面形貌观察；半导体芯片表面形貌观察，非接触型的线宽，台阶深度摩擦学磨痕的体积测量等测量研究。荧光功能测量可以检测材料的缺陷和性能。